모델명 : MODEL681

제조업체 : Gatan

장비소개

 · 입사 에너지 조절이 가능한 Ar+ 이온빔을 이용하여 재료 표면을

재질에 따라 요철이 생기게 하여 기계적 연마가 어려운 재료의

주사전자현미경 관찰 가능하게 가공

 · 이온빔을 타켓물질에 방출하여 시료 코팅

활용분야

 · 재료의 강도가 부족하여 기계적연마 시 표면 결함이 발생하는

소재의 주사전자 현미경 관찰 시

 · 표면형상이 미세하여 얇고 균질한 코팅층이 필요한 경우